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螺杆泵 NRL60A

NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。低噪音、低振动，优良的耐腐蚀性。主要应用于刻蚀、溅射镀膜、单晶炉、冷冻干燥等行业领域。

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关键词：

真空泵

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气；

    2、低噪音、低振动，优良的耐腐蚀性；

    3、标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度；

    4、可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

     

    |用途

    1、活性气体（CVD、刻蚀等）；

    2、排出非活性气体（溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）；

    3、用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）；

    4、作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）；

    5、冷冻干燥等水蒸气排气。

     

  • |规格参数
    型式　 NRL60A NRL90A NLR180A
    排气速度 m3/h 50hz 70.0  116.0  200.0 
    m³/h 60hz 84.0  140 240
    极限压力 Pa   5.0 
    电机电压 V        
    额定功率 kW   2
    冷却水量 L/min   5
    气体吹扫 SLM        
    噪音值 dB(A)        
    进气口     VG50 VG80 VG80
    排气口     NW40
    重量 kg   128 188 268
    尺寸 mm        
    备注          

     

    |排气曲线图

     

     

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