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涡旋泵 DIS-252

DIS系列涡旋泵是双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。可在大气压下实现操作运行，可实现高极限真空，低振动低噪音，维护周期可通过计时表控制。主要应用于分析设备、涂装设备、氦气检漏仪、半导体制造工艺等领域。

所属分类：

涡旋干泵

真空泵

干式真空泵

涡旋式干泵

关键词：

涡旋干泵

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、结构紧凑，排气量大；

    2、双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋；

    3、干式真空泵的最高压力水平；

    4、内置自动复位型热保护器等安全设计；

    5、通过空气冲洗抑制水分凝结。

     

    |用途

    1、分析设备；

    2、气体回收系统；

    3、涂装设备；

    4、TMP的背泵；

    5、氦气检漏仪；

    6、半导体制造工艺。

     

  • |规格参数
    型式　   DIS90 DIS252 DIS501 DISL102 DISL503
    排气速度 m3/h 50hz 5.4  12.0  30.0  6.0  26.0 
    60hz 6.5  14.4  36.0  7.2  31.0 
    极限压力 Pa   5.0  1.6  1.0  20.0  30.0 
    电机电压 V   单相, 100/115/200/230V 单相：100V/115V/200V/230V；三相：200V/208V/230V/380V/400V/415V/460V 单相：100/115/200/230V；三相：200/208/230/380/400/415/460V 单相, 100/115/200/230V 50hz：3相，200/380/400/415V；60hz：3相，200/220/230/460V
    额定功率 kW   150 400 600 300 50hz 900W / 60hz 1100W
    冷却水量 L/min            
    气体吹扫 SLM            
    噪音值 dB(A)   ≦52   ≦70    
    进气口     KF-25 KF-25 KF-40 KF-25 KF-25
    排气口     KF-16 KF-16 KF-25 KF-16 KF-25
    重量 kg   14.0  25.0  44.0  17.0  34.0 
    尺寸 mm   214(W)×308(L)×225(H) 264(W) × 397(L) × 338(H) 三相：292(W)×372(L)×397(H) 221(W)×380(L)×218(H) 317(W)×521(L)×280(H)
    备注              

     

    |排气曲线图

     

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