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螺杆泵 MS1200A

MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀；

    2、采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉；

    3、从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

     

    |用途

    1、半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等；

    2、真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等；

    3、锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等；

    4、医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

     

     

  • |规格参数
    型式　 MS-120A MS-600A MS-1200A
    排气速度 m3/h 115.0  560.0  980.0 
    极限压力 Pa ≦0.6 ≦0.1
    电机电压 V 200V ：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or；400V ：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
    额定功率 kW 2.4 3.1
    冷却水量 L/min 4.0 
    气体吹扫 SLM      
    噪音值 dB(A) 61 62 64
    进气口   KF50 / VG50 ISO-F-80 ISO-F-100
    排气口   KF40
    重量 kg 139 241 264
    尺寸 mm      
    备注        

     

    |排气曲线图

     

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