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螺杆泵 HR60

HR系列螺杆干泵是通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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螺杆干泵

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、高温区域均热化 实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出； UR系列可比HR系列更加高温化；

    2、氦气密封 通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全；

    3、瞬停对策 采取了1000msec以内瞬停对策；

    4、出色的耐腐蚀性 主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀；

    5、通信功能 可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

     

     

    |用途

    1、CVD装置；

    2、蚀刻装置；

    3、灰化装置；

    4、ALD、ALH 等。

     

  • |规格参数
    型式　 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
    使用泵 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
    机械增压泵     PRC-003A PRC-006A PRC-012A
    最大排气速度 50hz m3/h 62.0  112.0  359.0  653.0  1012.0 
    60hz m³/h 80.0  126.0  365.0  701.0  1051.0 
    极限压力   Pa 5.0  0.7 
    电机电压   V 200-220
    额定功率   kW          
    冷却水量   L/min >5.0
    气体吹扫   SLM 0~45
    噪音值   dB(A)          
    进气口     VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100)
    排气口     KF40    
    重量   kg          
    尺寸   mm          
    备注              

     

    |排气曲线图

     

     

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